选用4000系列BCB材料进行MEMS传感器的粘接键合工艺试验，解决了圆片级封装问题，采用该技术成功加工出具有三层结构的圆片级封装某种惯性压阻类传感器。依据标准GJB548A对其进行了剪切强度和检漏测试，测得封装样品漏率小于5×10pa·cm3／s，键合强度大于49 N，满足考核要求。 ...
/dl/512515.html
标签： MEMS BCB 键合 圆片级 封装工艺
上传时间： 2016-07-26
上传用户：leishenzhichui
MEMS真空封装是提高MEMS惯性器件性能的主要手段。本文应用实验方法，在真空熔焊工艺设备上研究了MEMS器件金属外壳真空封装工艺。对不同镀层结构的外壳进行了封装实验比较和气密性测试，结果发现，金属外壳表面镀Ni和镀Au或管座表面镀Ni和Au、管帽表面镀Ni可有效的提高真空封装的气密性和可靠性，其气密性优于5×10-9 Pa·m3 ...
/dl/512519.html
标签： MEMS 熔焊 封装工艺
电气装置安装工程 接地装置施工及验收规范
/dl/513112.html
标签： GB50169-2006
上传时间： 2016-10-09
上传用户：HHJLMF
活塞杆工艺课程设计，可供参考，如果需要图纸也可以。
/dl/515583.html
标签： 活塞 工艺设计
上传时间： 2017-07-23
上传用户：chenxian
某小区30层高层住宅施工进度计划，包含基础，主体二次结构，室外装修等
/dl/516254.html
标签： 进度计划
上传时间： 2017-12-06
上传用户：fragaria
某高层小区住宅施工组织设计方案，内容详细。
/dl/516255.html
标签： 高层住宅
4Cr10Si2Mo钢球化退火工艺，钢材球化退火工艺研究
/dl/517134.html
标签： 4Cr 2Mo Si2 10 Cr Si Mo 化工
上传时间： 2018-04-08
上传用户：godress
徐州轨道交通3号线施工监测实施与管理项目策划书
/dl/517288.html
标签： 轨道交通 监测 策划 项目
上传时间： 2018-04-24
上传用户：Edward1208
这是一个狐表编写的施工管理软件源代码，网络搜集所得，供有需要的朋友学习 参考
/dl/518811.html
标签： 项目管理 软件
上传时间： 2019-02-10
上传用户：sx1980
gb 50172-2012 电气装置安装工程蓄电池施工及验收规范
/dl/519212.html
标签： 50172 2012 gb 电气装置 安装工程 蓄电池 验收规范
上传时间： 2019-04-05
上传用户：clancall
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