微电子技术的发展规律及趋势。介绍了微电子技术随特征尺寸缩小而存在的几个关键发展层次，包括微细加工、互连技术、新器件结构及材料技术等。
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上传时间： 2013-12-02
上传用户：小鹏
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上传时间： 2014-01-26
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上传时间： 2017-02-19
上传用户：杜莹12345
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上传时间： 2014-01-25
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