摘要：设计并制作了一种基于温度梯度驱动的液滴传输芯片，以实现对微液滴传输的精确控制．介绍了驱动原理和工艺流程，分析了仿真和实验结果．该芯片利用温度梯度下液滴表面形成的表面张力梯度来传输液滴，采用玻璃作为衬底，Ｔｉ为电阻加热器，Ａｕ为电极，ＰＥＣＶＤ氧化硅为介质层，碳氟聚合物为疏水层，实现了器件制作．芯片采用开放式结构，制作工艺简单，操作方便．测试结果表明，驱动功率为０．３８Ｗ时，去离子水和硅油的传输速率分别达到０．１ｍｍ燉ｓ和１ｍｍ燉ｓ．
关键词：微液滴；温度梯度；表面张力梯度；电阻加热器；开放式结构
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