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MEMS中的常用材料参数

  • 上传时间: 2016-05-02
  • 上传用户:jzp_home_2009
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  • 标      签: MEMS 材料 参数

资 源 简 介

MEMS中的常用材料参数,这些参数在MEMS器件设计仿真过程经常会被用到。

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